各種接近傳感器的制造工藝

　　接近傳感器是用標準的生產(chǎn)硅基半導體集成電路的工藝技術(shù)制造的。通常還將用于初步處理被測信號的部分電路也集成在同一芯片上。

　　接近傳感器是通過沉積在介質(zhì)襯底(基板)上的，相應敏感材料的薄膜形成的。使用混合工藝時，同樣可將部分電路制造在此基板上。

　　接近傳感器是利用相應材料的漿料，涂覆在陶瓷基片上制成的，基片通常是Al2O3制成的，然后進行熱處理，使厚膜成形。

　　接近傳感器采用標準的陶瓷工藝或其某種變種工藝(溶膠、凝膠等)生產(chǎn)。完成適當?shù)念A備性操作之后，已成形的元件在高溫中進行燒結(jié)。

　　接近傳感器這二種工藝之間有許多共同特性，在某些方面，可以認為厚膜工藝是陶瓷工藝的一種變型。每種工藝技術(shù)都有自己的優(yōu)點和不足。由于研究、開發(fā)和生產(chǎn)所需的資本投入較低，以及傳感器參數(shù)的高穩(wěn)定性等原因，采用陶瓷和厚膜傳感器比較合理。

　　1、接近傳感器和光纖傳感器工作原理不同

　　先從兩者的工作原理來講，光電傳感器它是依據(jù)光電效應的原理來工作的，也就是說當光照射到由半導體制成的光電傳感器上時就會發(fā)出光電子的一種現(xiàn)象，可以把光能轉(zhuǎn)化為電能。比如常用作光控場合的光敏電阻、光敏二極管和光敏三極管等都是根據(jù)這種效應進行工作的。而光纖傳感器是通過光的全反射原理來工作的，對于光的全反射原理在中學物理中就學過，比如光折射和反射的斯涅爾定律就用數(shù)學關(guān)系式很清楚地表達了光反射原理。所以我們運用光導纖維的傳光特點就可以把被測量轉(zhuǎn)化成光特性的改變，比如可以改變光的頻率、波長、強度和相位等。

　　2、接近傳感器和光纖傳感器制作材料不同

　　接近傳感器的制作材料主要是具有光電效應的半導體材料或者金屬材料制作而成，比如光電二極管和光電三極管的制造材料一般有硅材料或者鍺材料，光敏電阻的材料由硫化鎘或者銻化銦等材料制作;而光纖傳感器是由光透射率高的玻璃纖維(主要是由石英玻璃)構(gòu)成，成分比較單一。

　　3、接近傳感器和光纖傳感器的結(jié)構(gòu)不同

　　接近傳感器的比較簡單，比如光電二極管就有引腳、外殼、管芯以及玻璃聚光鏡等部分構(gòu)成;而光纖傳感器的結(jié)構(gòu)相對復雜些，除了光纖外還有一些復雜的外設作為輔助控制。

　　4、接近傳感器和光纖傳感器所測量的范圍不同

　　接近傳感器所測量的范圍相對較少，一般有光強度、光照度、速度和應變位移等;而光纖傳感器所測量的范圍比較廣，大約可以測量70多個物理量，比如壓力、震動、速度、電流、溫度、流量、磁場等，所以光纖傳感器今后發(fā)展的前潛力是巨大的，可謂是后來者居上。